潔凈室是工業(yè)生產(chǎn)中的重要組成部分，半導(dǎo)體、平面液晶顯示器、光電子和生物醫(yī)藥都需要潔凈的生產(chǎn)車間，通常潔凈室是指空間空氣懸浮粒子濃渡被控制在規(guī)定界限內(nèi)的房間或限定空間，這塵埃粒子的粒徑越小和被限定的粒數(shù)越小，潔凈度便越高。靜電對于潔凈室來說無疑是一大危害，主要表現(xiàn)于靜電放電、噪聲、電擊人體等危害，如何控制潔凈室的靜電，成為當(dāng)務(wù)之急，下面由防靜電資訊網(wǎng)總結(jié)出幾點(diǎn)潔凈室的靜電控制辦法供大家參考：

（1）確定靜電控制級別

（2）盡量減少靜電荷的產(chǎn)生

（3）泄放和中和的辦法加速靜電荷消散，防止靜電積累  　　

（4）保護(hù)產(chǎn)品不受ESD的損壞

（1）元器件、組件和設(shè)備靜電敏感度分級  　　

1級：易遭受0-1999V靜電電壓損壞的  　　

2級：易遭受2000-3999V靜電電壓損壞的  　　

3級：易遭受4000-5999V靜電電壓損壞的  　　

而敏感靜電壓大于16000V的，便不必采取防靜電措施。

（2）靜電防護(hù)工作區(qū)的分級  　　

A級：允許對地靜電電位不超過±100V  　　

B級：允許對地靜電電位不超過±1000V  　　

實(shí)際工程中是分靜電電位不超過100V、500V、1000V等對應(yīng)元器件、組件和設(shè)備靜電敏感電壓的3級。  　　

這是控制靜電三步曲的第一步，在這凈化工作環(huán)境中，最好的措施：  　　

（1）盡量采用性質(zhì)相似器材，減少在接觸摩擦分離過程中產(chǎn)生靜電電荷；  　　

（2）盡量采用導(dǎo)靜電型或靜電耗散型材料的器材，減少接觸摩擦分離過程產(chǎn)生積累靜電荷；  　　

（3）盡量采用減少接觸摩擦分離而產(chǎn)生靜電荷的生產(chǎn)流程。  　　

這是控制靜電三步曲的第二步，在微電子生產(chǎn)的凈化室中最通常的措施是接地，采用導(dǎo)電性或耗散性材料泄放靜電荷，以及離子化消電器中和靜電荷。

（1）接地  　　

潔凈室應(yīng)設(shè)一個獨(dú)立靜電接地系統(tǒng)（包括地面接地金屬網(wǎng)支系統(tǒng)、生產(chǎn)線工作站接地支系統(tǒng)），以便室內(nèi)所有設(shè)備金屬外殼、移動設(shè)備的金屬支架、防靜電器材等安全、有效地將靜電荷泄放至大地。工作人員的帶電則通過手腕帶接地，以及通過防靜電鞋或腳跟帶再經(jīng)防靜電地面向大地泄放。地面、墻面、頂棚、隔斷等是硬接地，設(shè)備外殼、移動設(shè)備（車、椅、貨架等）、工作臺等則屬軟接地。  　

（2）離子化肖電器  　　

潔凈室中生產(chǎn)組裝的元器件、PCB，生產(chǎn)線、工作站上總是難免存在一些不能接地的絕緣導(dǎo)體和絕緣介質(zhì)材料（例如大多數(shù)普通塑料）。在某些環(huán)境下，離子化消電器常用來局部消散這些物體上的靜電荷，而更經(jīng)常的是借助于空氣離子化來中和在絕緣介質(zhì)上和孤立導(dǎo)體上的所帶靜電電荷。

（3）導(dǎo)靜電和靜電耗散材料  　　

導(dǎo)靜電材料和靜電耗散材料由于其具有導(dǎo)靜電性，也是很好的靜電荷泄放材料，而且比金屬導(dǎo)體泄放更具有安全性，通常被采用做地板、墻面、工作臺、周轉(zhuǎn)容器、鑷子、刷子等防靜電器材。  　　

這是控制靜電的三步曲中最后一步。在微電子生產(chǎn)的凈化室中，為阻止ESD發(fā)生在靜電敏感元器件或組件、PCB上，一種方法是對元器件和組件提供合適的接地或分路以“消散”掉產(chǎn)品上存在的靜電荷；另一種方法是用恰當(dāng)?shù)陌b方法和材料來處理靜電敏感器件的包裝和輸運(yùn)。這些材料可有效地屏蔽電荷侵入產(chǎn)品以及減少產(chǎn)品在包裝箱中移動而產(chǎn)生靜電荷。國際上，半導(dǎo)體、平面液晶顯示器，光電子發(fā)展很快，集成度越來越高，芯片線徑越來越細(xì)，對防靜電要求越來越高。美國ESD協(xié)會已開始修訂ANS ESD S 20.20-1999靜電放電控制大綱，對SSD靜電敏感性分類已作了些修改。 

這給元器件使用者一個警示，不論在人員或設(shè)備進(jìn)行裝備制造時(shí)，告訴你能需要的環(huán)境控制要求。如果EPA區(qū)域內(nèi)允許電壓達(dá)到25V的話，恐怕我們現(xiàn)有的防靜電器材、裝備、工具以及工程都要經(jīng)過一番艱苦的努力。